直流磁控濺射用于鍍制金屬膜及化合物膜，例如金、銀、鋁、鈦、鉻等，輸出電壓為直流，具有穩流功能，穩流精度高（達1%）。
品名
直流磁控濺射電源
型號
msd系列
輸入
相數
三相+n
電壓
380v
頻率
50hz
輸入方式
4線（含零線）
輸出
波形
直流
功率
20kw~200kw（可定制）
電壓
0—1200v（可定制）
穩定度
≤1%
電流
0—200a（可定制）
穩定度
≤1%
紋波及雜訊
≤5%或≤3%
效率
≥90%
控制
控制方式
標準方式：恒流
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口
標準方式：面板手動
可選方式：面板手動、plc模擬接口、rs485(modbus)
保護
具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻
風冷或水冷
外型
防護等級
ip21
單元尺寸(w*d*h)
箱體：440(w)x220(h)x560(d) （20kw風冷）
面板：482(w)x248(h)
重量
約30kg（30kw）
備注

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中山市昊源電器設備有限公司
劉立勝
13680291588
廣東省中山市港口鎮沙港中路72號3樓

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