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熱缺陷(晶格位置缺陷)只要晶體的溫度高于絕對(duì)零度,原子就要吸收熱能而運(yùn)動(dòng)山東天岳,但由于固體質(zhì)點(diǎn)是牢固結(jié)合在一起的山東天岳碳化硅,或者說(shuō)晶體中每一個(gè)質(zhì)點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)必然受到周圍質(zhì)點(diǎn)結(jié)合力的限制而只能以質(zhì)點(diǎn)的平衡位置為中心作微小運(yùn)動(dòng)山東天岳先進(jìn)材料,振動(dòng)的幅度隨溫度升高而增大,溫度越高,平均熱能越大,而相應(yīng)一定溫度的熱能是指原子的平均動(dòng)能,當(dāng)某些質(zhì)點(diǎn)大于平均動(dòng)能就要離開平衡位置,在原來(lái)的位置上留下一個(gè)空位而形成缺陷,實(shí)際上在任何溫度下總有少數(shù)質(zhì)點(diǎn)擺脫周圍離子的束縛而離開原來(lái)的平衡位置,這種由于熱運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的點(diǎn)缺陷——熱缺陷。熱缺陷兩種基本形式:a-弗侖克爾缺陷,b-肖特基缺陷(1)弗侖克爾缺陷具有足夠大能量的原子(離子)離開平衡位置后,擠入晶格間隙中,形成間隙原子離子),在原來(lái)位置上留下空位。特點(diǎn):空位與間隙粒子成對(duì)出現(xiàn),數(shù)量相等,晶體體積不發(fā)生變化。在晶體中弗侖克爾缺陷的數(shù)目多少與晶體結(jié)構(gòu)有很大關(guān)系,格點(diǎn)位質(zhì)點(diǎn)要進(jìn)入間隙位,間隙必須要足夠大,如螢石(caf2)型結(jié)構(gòu)的物質(zhì)空隙較大山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司,易形成,而nacl型結(jié)構(gòu)不易形成。總的來(lái)說(shuō),離子晶體,共價(jià)晶體形成該缺陷困難。
中科院物理研究所從2000年以來(lái)投入大量人力和物力進(jìn)行了sic晶體關(guān)鍵生長(zhǎng)技術(shù)的研發(fā),憑借物理所多年在晶體生長(zhǎng)的經(jīng)驗(yàn)和實(shí)力雄厚的科研力量,目前已躋身于全球幾個(gè)有能力生長(zhǎng)2英寸sic半導(dǎo)體晶體的單位之一,同時(shí)物理所已設(shè)計(jì)和制造出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的sic晶體生長(zhǎng)爐,為規(guī)模化生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ),并具有明顯的價(jià)格優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)目已具備了進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化的條件。??據(jù)悉,第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,被列入2007年國(guó)家科技支撐計(jì)劃,此項(xiàng)目的順利實(shí)施,將帶動(dòng)一系列下游以碳化硅為基片的寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)等新興的高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
目前,全球只有少數(shù)的大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)研發(fā)出了碳化硅晶體生長(zhǎng)和加工技術(shù),僅有美國(guó)能夠生產(chǎn)碳化硅晶片,國(guó)內(nèi)碳化硅晶片的需求全部依賴進(jìn)口,價(jià)格昂貴,市場(chǎng)供不應(yīng)求。
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