??加熱溫度:
?????????工作溫度:?高達600°c
??基體最大尺寸
?????????<3m (l) x 1.5m (h)?平板狀基材
??均勻性范圍內有效鍍膜寬度
?????????<1.5m (均勻性為±5%)
??高生產效率
????????效率高達1分鐘/片?(<1.2mx 1.5m)
??獨特的真空傳輸裝置
????????陶瓷滾筒鏈輪驅動傳動系統，采用獨特的無縫連接不間斷連續鍍膜技術
??先進的磁控濺射源設計
????????在確保大面積鍍膜均勻性的條件下，材料使用率提高
??工藝真空室設計
?????所有真空室為模塊化設計，數目可根據具體應用增減
?????每個工藝室裝備多對平面濺射靶或圓柱靶
?????濺射靶由直流、中頻或射頻電源驅動
?????矩陣式多點可控大面積均勻高溫基體加熱技術
?????數字閉環pid真空控制系統，配合精密閥門，準確穩定工藝真空到設定值

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納峰真空鍍膜（上海）有限公司
沈蓉
18017150832
青浦區華紡路99弄99號

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