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工業有機廢氣的低溫等離子體的治理設備等離子體就是處于電離狀態的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學 muir，于1927年在研究低氣壓下汞蒸氣中放電現象時命名的。等離子體由大量的子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數必須體表現出電中性，這就是“等離子體”的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體（包子體和冷等離子體）。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。
其中電子溫度( te)≥離子溫度(ti)，可達104k以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500k。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。截至2013年，對低溫等離子體的作用機理研究認為是粒子非彈性碰撞的結果。低溫等離富含電子、離子、自由基和激發態分子，其中高能電子與氣體分子（原子）發生撞，將能量轉換成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解和電離等一系列過秸處于活化狀態。一方面打開了氣體分子鍵，生成一些單分子和固體微粒；另一力生．oh、h2o2．等自由基和氧化性極強的o3，在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運動只有副作用。常壓下，氣體放電產生的高度非平衡等離子體中電子溫層氏度）遠高于氣體溫度（室溫100℃左右）。
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