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考夫曼離子源離子槍光學(xué)真空鍍膜機(jī)應(yīng)用

  • 加工定制:
  • 品牌:美國考夫曼離子源
  • 電鍍位置:輪式噴鍍
  • 鍍種:真空鍍膜
  • 提供加工定制:是
  • 型號(hào):美國考夫曼離子源
  • 適用范圍:光學(xué)鍍膜機(jī)加裝
  • 產(chǎn)品別名:離子槍
  • 電鍍電源:雙脈沖電源
  • 鍍膜材質(zhì):
  • 鍍膜原理:
  • 規(guī)格:

日本伯東株式會(huì)社,成立于1953 年,全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司系日本伯東株式會(huì)社在中國投資的全資公司,公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件等加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東企業(yè)(上海)有限公司的總部在上海,同時(shí)在中國的北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門都設(shè)有辦事機(jī)構(gòu)。
伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部銷售眾多國際知名真空品牌,代理品牌包含:德國 pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 kri 考夫曼離子源、美國 brooks ?polycold 制冷機(jī),美國hva真空閥門,美國 intest溫度氣流控制設(shè)備,日本 ns 離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為眾多國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商,負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售同時(shí)提供完善的售后維修服務(wù)。公司在上海,深圳及廈門等全國重要區(qū)域都設(shè)有我們產(chǎn)品的銷售和維修中心,可為廣大客戶提供全系列產(chǎn)品的維護(hù)及保養(yǎng)服務(wù)工作,100%使用原廠進(jìn)口零件以及國外受訓(xùn)維修工程師;擁有完全的拆解,維修,校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。
光學(xué)鍍膜(optics coating),在現(xiàn)代生產(chǎn)被廣泛應(yīng)用,玻璃鍍膜、鏡片鍍膜、顯微鏡鏡片鍍膜、裝飾燈罩鍍膜都是必不可少的生產(chǎn)工藝, 但是在真空鍍膜中會(huì)出現(xiàn)膜層不均勻,或是產(chǎn)品膜層脫落等現(xiàn)象。所以針對(duì)此類問題, 美國考夫曼公司kri(kaufman & robinson, inc)研發(fā)了ionsource?離子源,從而解決了此類技術(shù)問題。伯東公司為美國考夫曼kri?離子源?中國地區(qū)總代理并負(fù)責(zé)其產(chǎn)品的銷售及相關(guān)技術(shù)支持。
kri離子源離子槍在光學(xué)鍍膜中主要起到了預(yù)清潔及輔助鍍膜的作用,
伯東公司客戶案例:廈門某光學(xué)鍍膜企業(yè),該企業(yè)使用日本shincron真空鍍膜機(jī),如下圖所示:
加裝kri?離子源離子槍起到預(yù)清潔作用,由于膜層表面很光滑,在鍍膜時(shí)會(huì)產(chǎn)生膜層脫落現(xiàn)象,預(yù)清潔就是將膜層表面用大的離子如ar打擊表面,使得制程物能有效的吸附在表面上。
使用專業(yè)測(cè)膜記號(hào)筆,可以明顯看出加裝kri?離子源離子槍前后有很大的不同,當(dāng)然在鍍膜中希望的效果肯定是加裝后的。
由于客戶腔體比較大,大約2 m3左右,所以我們使用的型號(hào)是eh 4200,功率比較大的kri?離子源。在預(yù)清潔后還會(huì)開啟進(jìn)行輔助鍍膜,具體效果需要在顯微鏡下觀測(cè),膜層厚度均勻性及附著牢固度都明顯提高。
????????????????????????????????????????????????????????????????????工作示意圖如上,kri離子槍覆蓋面
kri離子源廣泛應(yīng)用在?鍍膜?、半導(dǎo)體、顯示屏,科研等領(lǐng)域
上海伯東主要經(jīng)營產(chǎn)品:德國普發(fā)pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空計(jì),真空規(guī)管;氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀,四級(jí)桿質(zhì)譜儀;以及美國 hva 真空閥門, polycold冷凍機(jī),gamma 離子泵和美國考夫曼公司 kri 離子源 離子槍霍爾源
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伯東企業(yè)(上海)有限公司
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