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使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產量的一個創新方法。應用材料公司最新的maxedge系統采用了獨特的兩組獨立控制的切割組件。maxedge是業界第一個專門設計使用細切割線的線鋸系統，最低可達到80μm。相對于業界領先的應用材料公司hct b5線鋸系統8寸整張藍膜晶圓回收，這些改進減少了硅料損失使產量提高多達50%。
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沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結構。然后，用 pecvd 法氧化層和氮化硅保護層。光刻和離子刻蝕定出 pad位置。最后進行退火處理以保證整個 chip 的完整和連線的連接性。wafer probe晶圓針測工序waferballingprocess晶圓球狀化工藝
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