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使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機(jī)臺(tái)產(chǎn)量的一個(gè)創(chuàng)新方法。應(yīng)用材料公司最新的maxedge系統(tǒng)采用了獨(dú)特的兩組獨(dú)立控制的切割組件。maxedge是業(yè)界第一個(gè)專門設(shè)計(jì)使用細(xì)切割線的線鋸系統(tǒng)，最低可達(dá)到80μm。相對(duì)于業(yè)界領(lǐng)先的應(yīng)用材料公司hct b5線鋸系統(tǒng)8寸整張藍(lán)膜晶圓回收，這些改進(jìn)減少了硅料損失使產(chǎn)量提高多達(dá)50%。
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沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu)。然后，用 pecvd 法氧化層和氮化硅保護(hù)層。光刻和離子刻蝕定出 pad位置。最后進(jìn)行退火處理以保證整個(gè) chip 的完整和連線的連接性。wafer probe晶圓針測(cè)工序waferballingprocess晶圓球狀化工藝
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