實(shí)用潔凈室主要是根據(jù)工藝特別點(diǎn)進(jìn)行布置,在滿足使用要求的前提下求得經(jīng)濟(jì)合理,已有典型的構(gòu)造形式如下:
1、開放式
大面積的單向流潔凈室。常用于工藝過程對(duì)各潔凈區(qū)要求的潔凈度等差別不大的,其特點(diǎn)是:
a、優(yōu)點(diǎn):靈活性好,便于調(diào)整和變更;設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單;空氣處理系統(tǒng)單一。
b、缺點(diǎn):高運(yùn)行費(fèi)用;對(duì)大面積的單向流,其回風(fēng)通道所占面積/空間大;防火分隔受限止,安全性差。
2、套間式
各潔凈區(qū)按工藝的工序及潔凈度要求進(jìn)行分隔及連通,并進(jìn)行各區(qū)間的壓差控制,多用于制藥工業(yè)及手術(shù)部,亦常把此歸入開放式內(nèi)。
3、隧道式
是ic工廠潔凈室在80年代末90年代初常較多采用的一種形式,是以“線”保護(hù)替代“面”保護(hù)的典型代表。它有二種基本形式;一是把各有關(guān)工藝設(shè)備的關(guān)健加工部位(即加工物暴露于周圍空氣中的部位)與設(shè)備的服務(wù)部位加以物理分隔,一般各設(shè)備的關(guān)健加工部位都面對(duì)布置,置于單向流潔凈區(qū)(潔凈隧道內(nèi)),而設(shè)備的服務(wù)部位置于要求不嚴(yán)的非單向流潔凈區(qū)內(nèi),以實(shí)現(xiàn)減少單向流潔凈區(qū)的面積;另一種形式是把各工藝設(shè)備的關(guān)健加工部位置于非單向流潔凈隧道的罩流層下,其它都同前。
其特點(diǎn)是:
a、優(yōu)點(diǎn):把單向流潔凈區(qū)限制到最小:減少循環(huán)風(fēng)量節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用;潔凈隧道的回風(fēng)可回至設(shè)備服務(wù)區(qū),此區(qū)可作為回風(fēng)道向上回風(fēng);防火分隔簡(jiǎn)單,運(yùn)行安全。
b、缺點(diǎn):設(shè)計(jì)時(shí)需要仔細(xì),較麻煩;靈活性差。
4、微環(huán)境、隔離裝置+開放式潔凈室
這種形式當(dāng)前在制藥工業(yè)已采用較普遍,據(jù)報(bào)導(dǎo)投資可節(jié)省10-15%,運(yùn)行費(fèi)用可望節(jié)約40-50%。在ic工廠采用這種形式與其它形式就潔凈室設(shè)施的投資及運(yùn)行費(fèi)用而言,肯定是經(jīng)濟(jì)的,但帶來微環(huán)境的工藝設(shè)備以及其動(dòng)傳送系統(tǒng)等投資 的增加等,其綜合經(jīng)濟(jì)效果如何,存在著不同看法,如亞洲、歐洲采用得較多,而美國(guó)則很少采用。但#300圓片加工,線寬越來越小,對(duì)粒子的控制要求更業(yè),對(duì)amc亦要求進(jìn)行控制,今后采用微環(huán)境已成定局。
另外,由于潔凈室潔凈度要求的降低,隨之帶來的潔凈服系統(tǒng)等要求降低而節(jié)省購(gòu)買費(fèi)及清洗等費(fèi)用亦是可觀的。
5、模塊式潔凈室
模塊式潔凈室近10年來發(fā)展亦快,隨著ffu的發(fā)展,對(duì)模塊潔凈室靈活方便性更加體現(xiàn)。一般一天可以安裝完成。
模塊式潔凈室一般適宜于空調(diào)參數(shù)與所處背景環(huán)境基本一致的場(chǎng)合,它的墻、天花等都不用另名保溫材料,目前情況是:滿足潔凈度等級(jí)iso4級(jí)及潔凈室形式的變化都是伴隨工藝發(fā)展和變化出現(xiàn)的,以上各種形式,各適用于一定的條及要求。以ic工廠的潔凈隧道與開放式潔凈室為例,在某些規(guī)模及要求下,開放式的亦還有采用的。
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